真空釬焊爐的主要結構;
真空釬焊爐主機為臥式單室加熱結構,由爐體、加熱室、真空系統、空氣冷卻系統、充氣系統、分壓系統、水冷系統和電氣控制系統組成。
1.真空爐主體
真空爐的主體由爐體和加熱室組成。爐殼、爐門、電機罩的外殼均由雙層筒體、雙層橢圓形封頭和法蘭通過氣密焊縫焊接而成。雙層筒體之間設有水道,內部連通冷卻水。爐蓋采用鎖環鎖緊結構。加熱室設計為圓柱形,隔熱罩由框架和石墨氈組成。
2.加熱力系統
加熱力系統包括加熱力電源、溫度控制系統和加熱力元件。加,熱電源選用磁調壓器,調壓由DC勵磁控制,根據不同的控制信號實現閉環自動控制,DC勵磁電源由雙向晶閘管控制。
溫控儀表具有自整定功能。熱電偶將電爐內部的溫度轉換成電信號,將檢測到的爐溫電流值與設定值的差值作為PID運算后的輸出信號,控制三端雙向可控硅開關的導通角,從而有效控制加發熱元件的平均加熱功率,使爐溫與設定的加熱曲線一致。
使用18根石墨管作為加熱元件,它們通過三角形連接,并沿熱區的圓周均勻分布,以提供良好的爐溫均勻性。加加熱元件通過三個水冷電極與外部接線相連。
3.真空系統
機組主泵為KT-500擴散泵,前置泵為ZJ-600 型羅茨泵和2X-70旋片機械泵。它們配有高真空閥、主路閥、旁路閥和與機械泵相連的電磁差壓閥。機械泵是一個粗糙的真空裝置,機械泵的后一級連接一個羅茨泵,羅茨泵的抽真空率較高,所以真空系統可以抽到更高的真空度。但只有當泵系統中的壓力達到羅茨泵,允許的入口壓力時,羅茨泵才能開始工作,否則會因過載和過熱而損壞。擴散泵是一種高真空裝置,它將真空系統中的氣體分子擴散到高速油蒸汽射流中,并通過前一個泵將其排入空氣中,完成抽吸動作。
4.空氣冷卻系統
真空爐主體后部裝有三相異步電動機。氣體經換熱器冷卻后,通過導流罩、進氣口和葉輪,經隔熱門進入爐內工作區,然后返回散熱器進行循環冷卻。
5.水冷系統
水冷系統由不銹鋼截止閥、進水口、放水箱、水壓接觸壓力表等組成。進水口配有一個63.5毫米(5英寸)的不銹鋼球閥,出水口配有一個101.6毫米(4英寸)的法蘭,只需連接用戶的循環水系統接口。
6.分壓系統
分壓系統由電磁真空充氣閥和可調針閥組成。銅釬焊過程中需要控制分壓時,可以充入高純氮氣或氬氣,分壓范圍控制在5~500Pa。
7.充氣系統
充氣系統由大直徑充氣截止閥、集氣母線、真空電接觸壓力表等組成。
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